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脉冲激光沉积系统

脉冲激光沉积系统

仪器编号

1716941S

规格

10^-5Pa/＜5.0*10^-9Pa.l/S

生产厂家

大连齐维科技发展有限公司

型号

非标定制

制造国家

中国

分类号

03210718

放置地点

南校区超微研究所108108

出厂日期

2017/08/18

购置日期

2017/08/18

入网日期

2017/12/14

主要规格及技术指标

进样室：极限真空：10^-5Pa 真空漏率：＜5.0*10^-9Pa.l/S
外延室：极限真空：10^-6Pa 真空漏率：＜1.0*10^-9Pa.l/S

主要功能及特色

脉冲激光分子束外延成膜法是将脉冲激光通过合成石英窗导入真空腔体内照射在成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成羽辉状等离子体，然后被堆积到设置在对面的基板上成膜。

主要附件及配置

基底加热台，分子泵，电磁阀，机械泵

公告名称	公告内容	发布日期