主要规格及技术指标

由小角度样品旋转系统、高真空系统，高压电源系统、快速气动换样系统以及高能聚焦离子枪等主要部分组成。主要参数如下：
(1) 高压电源： 0 ~ 10kV (连续可调，短路保护)
(2) 离子束电流： 0 ~ 1mA
(3) 离子束掠射角： 0°~ 45°（双面）
(4) 自动保护： 高压 (high voltage)，
(5) 样品旋转
(6) 抽真空速率： 分子加速泵67L/min
(7) 样品： 3毫米直径
(8) 样品减薄速率： 40μm/h(Cu)

主要功能及特色

主要适用于金属、陶瓷及半导体等固体材料的TEM 样品的减薄与抛光。

主要附件及配置

无