载荷范围: ≤500mN,分辨率:3nN ;位移范围:20μm,分辨率:0.002nm;划痕速率范围:0.1μm/s -400 μm/s, 最大划痕长度 ≥10mm;电压范围:(- 20V)- (+20V),电压分辨率:0.33mV 。电流范围:200 μA - 2A ,电流分辨率:10 nA。
微纳米力学性能测试及微米摩擦测试。
无