手动样品台,6英寸,XY行程100mm*100mm扫描长度:50µm 至 55mm,可达120,000个数据点/扫描探针加力范围:1毫克至15毫克,探针快速更换附件(标配)垂直测量范围:可达1毫米自动台阶检测功能特点:自动水平调整,自动检测台阶,自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比LIS 3 B性探针,半径2微米,红/白色
主要用途、功能:通过探针的垂直位移,得到被检测样品的台阶高度、粗糙度等物理参数
无