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轮廓仪
轮廓仪
仪器编号
1825277S
规格
台阶高度重复性4埃
生产厂家
美国布鲁克公司
型号
Dektak XT
制造国家
美国
分类号
12020221
放置地点
南校区双超所215215
出厂日期
2018/07/10
购置日期
2018/06/21
入网日期
2018/12/10

主要规格及技术指标

手动样品台,6英寸,XY行程100mm*100mm
扫描长度:50µm 至 55mm,可达120,000个数据点/扫描
探针加力范围:1毫克至15毫克,探针快速更换附件(标配)
垂直测量范围:可达1毫米
自动台阶检测功能特点:自动水平调整,自动检测台阶,自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比
LIS 3 B性探针,半径2微米,红/白色

主要功能及特色

主要用途、功能:通过探针的垂直位移,得到被检测样品的台阶高度、粗糙度等物理参数

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期