主要规格及技术指标

二次电子分辨率：3.0nm，背散射电子分辨率：3.5nm，能谱仪型号：XFlash 610m

主要功能及特色

1、电子光学工作模式
分辨率﹕得到最佳的分辨率。
景深﹕加强对景深的聚焦。
视野﹕得到不变形的大视野图像。
大视野：得到不变形更大视野并可进行测量的图像。
摇摆电子束﹕采集电子通道花样（ECP）,可获得样品晶体方向的工作模式。
2、高真空下的分辨率（二次电子）﹕3.0nm at 30kV
3、放大倍数﹕3 × - 1,000,000 ×
4、加速电压﹕200V至30KV，连续可调
5、电子枪﹕钨灯丝电子枪
6、探针电流﹕1pA至2uA
7、样品室﹕样品室：内部直径：160 mm
门宽： 120 mm
接口数： 10
8、样品台﹕
类型：Eucentric
移动：
标配：3轴马达驱动
X=45 mm-马达驱动*
Y=45 mm-马达驱动*
Z=27 mm-手动
Z‵=6 mm-手动
旋转：360度连续-马达驱动*
倾斜：-90度到+90度-手动
最大样品高度：36 mm
9、探头﹕
YAG闪烁体ET类型二次电子探测器
YAG闪烁体固定式背散射电子探测器
探针电流测量装置
报警装置（具有接触报警与自动停止功能）
10、更换样品后抽真空时间﹕ <3分钟
11、样品室和镜筒减振﹕ 机械减震
12、显微镜控制﹕显微镜的所有功能都由键盘，鼠标和轨迹球通过Window™平台上的VegaTC软件控制。
13、远程控制﹕通过TCP/IP
14、图象显示﹕24寸液晶显示
15、图象尺寸﹕最大为8192*8192象素，扫描窗口大小可分为3档，存储窗口可分为10档。可为正方形，4:3或2:1的矩形。
16、图片格式﹕BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG或PGM, PPM
17、扫描﹕
扫描速度﹕从20ns/pixel至10ms/pixel可阶段式或连续式的调整。
聚焦窗口﹕形状，尺寸和位置都可调整。
18、自动操作﹕
实时电子束追踪优化
根据放大倍数自动优化束斑直径
自动聚焦&消象散
自动调整对比度&亮度
自动扫描速度（根据信噪比）
自动调整灯丝饱和电流
电子枪对中
自动透镜对中
自动控制真空
自动进行加速电压的补偿
观察表格
自动诊断
19、软件功能
测量功能、图像操作、图象处理、3维扫描、硬度测量、多图像校准、对象区域、自动关机时间、打印放大倍数、定位

主要附件及配置

无