主要规格及技术指标

技术参数：标准型扫描器 扫描范围XY: 20um,Z: 1.5 um;分辨能力：形貌分辨能力 XY: 0.2nm, Z: 0.01nm;检测器：四象限光电检测器；样品移动：XY方向，手动，移动范围±2.5mm，Z方向，自动，移动范围 10mm；轻敲模式下，驱动探针振动的频率范围为 1K~99K

主要功能及特色

在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵。可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等

主要附件及配置

无