最小载荷_25uN;最大载荷350mN;最大压痕深度 3100um;位移分辨率_0.0004nm。
压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以测定材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、存储模量及损耗模量等特性。微米级划痕测试仪(MCT):用于界定薄膜与基体的结合强度,可分析有机、无机,软质和硬质薄膜的破坏形式。
原子力显微镜(扫描三维形貌像)。高温样品台。原位Mirau干涉仪。