1.最高温度1200摄氏度2.工作室尺寸 直径327mm(外径)*直径184mm(内径)*280mm(高)3.空炉冷态极限真空度≤10Pa4.加热功率50Kw5.加热方式 中频感应加热
以中频感应方式加热,在负压真空状态下进行沉积,主要用于科研实验,进行以甲烷、丙烯等气体为碳源的炭/炭复合材料的化学气相沉积研究
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