主要规格及技术指标

1.真空测量范围可设0-10，100，1000，10000ppm
2.泄漏率<0.02vol%/h
3.电子束偏转角270°
4.阴极电压有6KV，8KV和10KV三挡，面板切换
5.蒸镀双真空腔体样品台都具有可升降，可旋转，水冷式功能
6.旋转曲线调整以1rpm为增量
7.厚度均匀性±3%左右
8.卡盘的旋转速度0-9，999转/分钟，以1转/分为增量

主要功能及特色

该系统由一个真空操作平台、两台旋转涂布仪、两室电阻热蒸发和电子束嵌套整合一起。该系统可用于钙钛矿太阳能电池制备、氧化物/金属薄膜制备、扫描电镜制样等领域，也可以用于教学及生产线前期工艺实验等，整套系统操作简便，综合功能多，扩展空间大。

主要附件及配置

无