主要规格及技术指标

控温稳定性：优于±100mK
显微镜系统光学分辨率：优于4μm。
四个探针臂；可进行直流到50MHz的电学测量。
配置柔性探针，直流探针阻值为50Ω。
真空指标：
室温下≤5×10-4Torr；液氮基础温度<1×10-5Torr；前级泵最大抽速6.2m3/h；极限真空0.002mbar。

主要功能及特色

通过液氮或液氦为真空环境降温，提供一个低温、真空的环境，对器件进行非破坏的测试。配合合适的电子仪表可以对材料或器件的低温电学特性测量，参数测量，high Z测量，DC测量和RF测量提供一个测试平台。

主要附件及配置

无