主要规格及技术指标

1.1 193nm空气冷却气态准分子激光源，激光源寿命不少于5亿次；
1.2 脉冲宽度： 20ns；
1.3 脉冲稳定性：<2%；
1.4 能量密度：1-45 J/cm2；
1.5 剥蚀频率：1-20Hz；

主要功能及特色

1.剥蚀模式：四种激光剥蚀模式可以任意切换，Single Shot, Burst, Continuous, fixed dosage四种模式；
2.剥蚀斑点尺寸：2-175um
3.光斑：不少于30个剥蚀光斑可选，其中包括不少于20个圆形光斑，6个方形光斑和4个狭缝光斑。通过软件选择不同斑点，并且能够在剥蚀过程中进行不同斑点更换。

主要附件及配置

电脑台式机一台