主要规格及技术指标

最大载荷：100 mN
载荷分辨率：6Nn
最大纵向位移：50μm
位移分辨率：0.1nm
极限真空度：10-6mbar
最高温度：800℃
温度分辨率：0.1℃
最大加热速度：50℃/min
真空显微镜最高放大倍数：2000Χ
动态力学模块频率范围：0.1-400Hz

主要功能及特色

高温纳米压痕仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，可获得块体材料尤其是薄膜和各种涂层等材料在800℃真空下的硬度和弹性模量等力学性能.可提供在高温下的高稳定性测量。

主要附件及配置

无