能够检测到所有原子序数大于等于3(锂)的元素,检测深度约10nm,检测极限大约为千分之五。
材料表面元素定性及半定量分析;元素价态及价带分析;通过氩离子刻蚀可对样品进行深度剖析,并分析刻蚀过程中材料性质的线性变化。
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