1、半导体特性分析系统主机(4200-SCS/F-NOSMU):9插槽机箱,带有集成控制器,12.1"平板显示器",外围接口有LAN、GPIB、USB、RS-232;
2、4200-SMU高分辨率中功率SMU(源测量单元);最大电流100mA;最大电压210V;最大功率2W;
3、远程放大器/开关(4225-RPM):支持SMU、PMU之间自动切换;
4200-SCS是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快脉冲I-V电学测试。使用选件4225-RPM远程放大器/开关,可轻松地在I-V和C-V测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200-SCS是最高性能的分析仪,可用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件电学性能测试。
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