主要规格及技术指标

1 二次电子分辨率：1.2nm(30kV)；1.5nm(15kV);
背散射电子分辨率：2.0nm(30kV)；EDX分辨率： 127 eV (Mn-Ka)
2 加速电压：5~ 30kV
3 电子束流：2pA~200nA
4 放大倍数：×10 ~ ×500,000
5 电子枪：高亮度肖特基热场发射电子枪
6 电子枪合轴：自动
7 聚焦：自动聚焦、或手动聚焦
8 像散器：自动或手动控制X和Y的调节
9 物镜光阑：中间镜模式，无物理光阑，无需手动调节
10 自动功能：自动聚焦、曝光、消像散

主要功能及特色

功能：固体样本表面SE、BSE形貌拍摄，EDS及EBSD分析
用途：主要用于矿物加工、钢铁冶金、生物冶金等材料研究。该仪器与电子背散衍射系统和能谱仪联用，可以将显微形貌、显微成分和显微取向三者集于一体，大大方便了材料科学的研究。

主要附件及配置

无