主要规格及技术指标

曝光范围：①物镜5ｘ：1850x1150μｍ
②物镜10x：920x570μｍ
③物镜20x：460x280μｍ
④物镜50x：180x110μｍ
⑤物镜100x：90x60μｍ；
记录光刻图案的成像装置安装在目镜单侧，使用目镜Ｃmount放大转接头可以放大缩小观察范围，放大转0.63x ；
130万画素1/1.8寸CMOS感应器，USB3.0数码彩色CCD：AUSB3-4133像素显示Program，USB3.0附锁线2ｍ；
DLP光源：LED 解像度1280*800；
显微镜组件：三眼镜筒（100:0/20:80 /0:100）、ＬＥＤ落射照明装置、防感光过滤片R60、XY载台（移动范围 76mm×52mm），目镜 10X 视野22mm

主要功能及特色

在实验环境下，利用显微镜光路将电路图曝光到感光材料上，以实现光刻胶的曝光、半导体材料的物理性能研究。

主要附件及配置

无