主要规格及技术指标

1) 蒸镀腔体：SUS304不锈钢，L×W×H：400×400×470mm（净尺寸）；
真空室内表面及防污板等抛光至镜面；
2) 真空系统：复合分子泵+直联旋片泵，超高真空气动插板阀；“两低一高”数显复合真空计；
分子泵抽速1200L/s，直联旋片泵抽速9L/s；
3) 真空极限：优于1.3×10-5Pa（10-8Torr）；
4) 抽速：从大气抽至2.67×10-4Pa≤20min；
5) 腔体漏率：保压12小时，真空腔室压强小于5Pa；
6) 样品台：抽屉式结构，基片托尺寸：120×120mm，该范围内可装卡各种规格的样品/基片；
样品台配有气动挡板，磁流体密封；
样品台旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；
样品掩膜：提供一块掩膜板（掩膜图案客户提供），样品与掩膜板的配合间隙为0；
7) 蒸发源：可安装3组蒸发源；
各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源）；
8) 蒸发电源：2台2KW蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流；
9) 膜厚监控：采用薄膜沉积控制器，可自动控制蒸镀速率和膜厚，膜厚仪速率显示精度优于± 0.015Ā，厚度显示精度±0.015Ā；；
10) 手套箱：左箱体尺寸：1800mm（长）×750mm（下宽）×900mm（高）；
右箱体尺寸：1800mm）×750mm（下宽）×900mm（高）；
箱体泄露率<0.02ol%/h；标准环境箱体内水、氧指标<1ppm；
11) 操控系统：PLC手自动控制，触摸屏操作；
12) 报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、防误操作保护等。

主要功能及特色

该设备用于制备金属、金属化合物、有机物薄膜等，在无水无氧的环境中完成相关实验研究工作，目前已广泛应用于钙钛矿、OPV等太阳能电池研究以及OLED、PLED等有机电发光研究领域。该设备可以为材料、物理、化学、电子、能源等相关学科提供实验支撑，其作为一款基础通用型实验室设备，与薄膜材料制备相关的各学科都可以使用。

主要附件及配置

无