分辨率:高真空模式:1.0nm @ 30kV(SE);2.5nm @ 30kV (BSE)。 环境真空模式:1.4nm @ 30kV (SE)
可在高真空、低真空、高温或低温环境下观察材料表面微观形貌,对样品进行微区成分分析,并且测定样品的晶粒取向分布。
能谱附件实现样品的成分分析。背散射衍射系统测定样品晶粒取向。高温及低温样品台对样品进行加热或冷冻处理。