能量扫描范围: 0--5000ev 最佳能量分辨率:≦0.45ev(XPS) 最佳灵敏度: ≧106cps(o.6ev Ag3d5/2) 最佳空间分辨率:≦3μm(快速平行成像) 分析室最佳真空度:优于5×10-10mbar
表面元素分析;材料、物理、化学、冶金、矿物等
无