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多元物理场控制化学气相渗炉

多元物理场控制化学气相渗炉

仪器编号

1510902S

规格

4300*3500*3900mm

生产厂家

湖南科源真空装备有限公司

型号

CVD700L

制造国家

中国

分类号

04060901

放置地点

中南大学粉冶院工程中心

出厂日期

2012/12/27

购置日期

2013/03/14

入网日期

2015/11/16

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期