最大输出功率3kW;可读最小步长:0.0001,角度重现性:0.0001;探测器能量分辨率≤680e;光路部分提供聚焦光路和平行光路两套系统;样品台为高精度五轴尤拉环样品台;微区激光视屏定位系统
多晶材料物相鉴定;结构测定;材料织构与应力测量;薄膜测量
无