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半导体器件测试探针台

半导体器件测试探针台

仪器编号

2019032734

规格

主腔直径215 mm,样品台直径80 mm, 配置5个直流测试臂，探针臂可移动距离40mm,定位精度

生产厂家

MS TECH

型号

MS TECH/M5VC

制造国家

韩国

分类号

03190402

放置地点

中南大学新校区物理与电子学院428室

出厂日期

2019/03/07

购置日期

2019/06/04

入网日期

2019/12/17

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期