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化学气相沉积炉

化学气相沉积炉

仪器编号

2020022024

规格

Φ280×1500mm/额定温度1500℃/额定功率100kW/冷态极限真空度100P

生产厂家

上海晨华科技股份有限公司

型号

晨华非标定制/ZT-100-15

制造国家

中国

分类号

04060301

放置地点

粉末冶金国家工程中心中跨西头北边

出厂日期

2020/11/25

购置日期

2020/11/25

入网日期

2020/12/07

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期