按所属单位

按仪器列表

反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机

仪器编号

2020021858

规格

13.56MHz/5W/0.45-0.6MPa

生产厂家

北京微泰克科技有限公司

型号

微泰克/SHL 150-RIE

制造国家

中国

分类号

03060304

放置地点

物理与电子学院428室

出厂日期

2020/08/15

购置日期

2020/07/01

入网日期

2020/10/29

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期