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化学气相沉积炉
仪器编号
2020042922
规格
1.最高温度：1600℃ 2．工作区尺寸：Ф360×500mm（直径×高） 3．极限真空度：≤5Pa
生产厂家
湖南顶立科技有限公司
型号
非标、定制
制造国家
中国
分类号
04060812
放置地点
粉冶院工程中心1楼中跨西
出厂日期
2016/05/28
购置日期
2015/12/30
入网日期
2020/12/25
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
