按所属单位

按仪器列表

超精密多轴运动平台

超精密多轴运动平台

仪器编号

2021008947

规格

XY轴行程≥300mm，定位精度为±1μm，双向重复定位精度为±0.5μm，直线度与平面度均为±6μ

生产厂家

北京华卓精科科技股份有限公司

型号

华卓精科/MSXY-0300-0300-0150-360D

制造国家

中国

分类号

04160509

放置地点

机电楼A110

出厂日期

2020/12/24

购置日期

2020/12/24

入网日期

2021/05/12

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期