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快速热退火炉

快速热退火炉

仪器编号

2021008396

规格

最大基片尺寸150mm及以下兼容；卤素灯组加热；升温速率：1℃/s~150℃/s；

生产厂家

法国安涅赛斯公司

型号

安涅赛斯/AS-One150

制造国家

法国

分类号

04060804

放置地点

理学楼101-2

出厂日期

2020/07/24

购置日期

2019/09/18

入网日期

2021/05/17

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期