主要规格及技术指标

1.分析室真空度5 X 10-9 mbar；
2.分辨率0.5eV；
3.灵敏度4Mcps@1.0eV。

主要功能及特色

Nexsa X射线光电子能谱仪（XPS）是一台多技术集成型智能化光电子能谱仪，主要用于分析材料表面元素组成及其化学态、以及不同化学态的各元素在材料表面或深度方向的分布情况。可对材料进行紫外光电子能谱（UPS）价带结构分析、原位拉曼光谱（Raman）分析，广泛应用于金属及氧化物、半导体材料、新能源材料、薄膜材料、陶瓷材料等领域。

主要附件及配置

单色化Al Kα 微聚焦X射线源，束斑10μm-400μm；
紫外光电子能谱（UPS）；
原位拉曼光谱；
样品倾斜模块；
真空试样转移舱；
MAGCIS 单原子与团簇双模式离子源。