主要规格及技术指标

位系统分辨率：Z: 100 nm + Piezo 5 nm；X, Y: 100 nm (ElProScan)；X, Y: 15 nm (ElProScan HR)。扫描范围：50mm （全方位）。Z轴压电材料参数： Lateral Guiding：1 nm; 分辨率：<1nm；重现性：室温下+/-10nm；行程：100μm; 响应时间：4ms。双恒电位仪探针电位：±10 V；样品电位：±10 V ；槽压: ±20 V；电流灵敏度：每量程0

主要功能及特色

探针扫描方式：1）逼近：自动逼近样品表面；2）线性扫描：探针在线性扫描X,Y或Z轴的同时记录探针电流、探针电位、样品电流和样品电位；3）平面扫描：探针做平面扫描(X,Y)，同时记录探针电流、探针电位

主要附件及配置

无