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高真空磁控溅射薄膜生长系统

高真空磁控溅射薄膜生长系统

仪器编号

2023011456

规格

真空抽速从大气抽到5*10-4Pa的实践小于40分钟；极限真空：小于5*10-6Pa；厚度误差小于总厚度2%

生产厂家

沈阳百举捷科学仪器有限公司

型号

沈阳百举捷/CKQ-450

制造国家

中国

分类号

03060302

放置地点

机电楼B103

出厂日期

2023/03/27

购置日期

2022/12/28

入网日期

2023/04/25

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期