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原子层沉积系统

原子层沉积系统

仪器编号

1054715

规格

生产厂家

芬兰匹克桑Oy公司

型号

主机系统 picosun R 200 series Advanced

制造国家

芬兰

分类号

129900

放置地点

新校区物理楼637

出厂日期

1970/01/01

购置日期

1970/01/01

入网日期

2021/07/15

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

表层镀膜，沉积制备薄膜

主要附件及配置

检测

公告名称	公告内容	发布日期