电子束加速电压0.1-30kV,电流10-12~10-6A;背散射电子图像分辨率小于20nm(15kV);真空系统样品仓1*10-3Pa;RAP/LSA70/PbST/LSA120/LiF/PET/ADP分光晶体4道8块;X射线角52.5度。
1、分析元素范围5B-92U;2、能谱定性定量、点面分析;3、波谱定性定量、点线面分析
无