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真空直流电弧等离子反应系统

真空直流电弧等离子反应系统

仪器编号

2023062596

规格

真空度1Pa；进气流量：氩气：0-3L/min，氢气：0-3L/min ，二级冷却室：0-10L/min；等离子体引弧方式：高频/非接触

生产厂家

沈阳麦科诺科技有限公司

型号

麦科诺科技/定制

制造国家

中国

分类号

03060302

放置地点

长沙矿冶研究院G5-1栋104

出厂日期

2022/06/30

购置日期

2022/04/12

入网日期

2023/12/13

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期