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旋转高温化学气相沉积炉

旋转高温化学气相沉积炉

仪器编号

2024001739

规格

有效工作区尺寸φ400*1200m/最高温度1800℃/设备工作温度1500℃/空炉冷态压升率≤2.0Pa

生产厂家

上海晨华科技股份有限公司

型号

上海晨华/ZT-180-18

制造国家

中国

分类号

04060301

放置地点

粉末冶金研究院国家工程中心中跨西内

出厂日期

2022/11/04

购置日期

2022/06/13

入网日期

2024/01/19

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期