主要规格及技术指标

（1）电子束分辨率：1.5 nm @ 1 keV(无漏磁)，1.3 nm @ 1 keV(减速模式)，0.9nm @ 15 keV(无漏磁)；
（2）离子束分辨率2.5 nm @ 30 keV；
（3）EDS：能量分辨率MnKα优于129eV，元素分析范围Be4~Cf98；
（4）EBSD：角度分辨率:0.05°，像素分辨率622*512，能同时采集 EBSD和EDS；
（5）配备纳米操纵仪，能够进行纳米级的精确移动而且能够做到毫米级的移动范围。

主要功能及特色

先进的聚焦离子束和电子束的双束系统，可以实现微米级的加工和纳米级的微观表征；配备EDS与EBSD，表征样品的元素成分与晶体结构；配备原位微纳米加工装置，可实现微纳米机加工与原位力学、热学、电学试验。

主要附件及配置

EDS、EBSD、纳米机械手、纳米机电加工装置