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划片机

划片机

仪器编号

20250013

规格

一套

生产厂家

沈阳和研科技有限公司

型号

DS613

制造国家

中国沈阳

分类号

放置地点

新校区微纳加工与器件制造平台封测区

出厂日期

1970/01/01

购置日期

2022/05/23

入网日期

2025/01/01

主要规格及技术指标

(1) 加工基片最大尺寸≤Ф6寸或正方形150mm，最小尺寸正方形0.1mm;
(2) 功率>1.5kw;最大转速 50000rpm;
(3) X轴最大有效行程:170mm;
(4) Y 轴最大有效行程: 170mm;
(5) Z轴主轴上下行程:≤30mm，行程分辨率:≤0.0001mm。

主要功能及特色

用于多种材料(硅片、玻璃、陶瓷等)多种模式(半自动切割模式和自动切割模式)划切

主要附件及配置

无

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