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紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机

仪器编号

20250014

规格

一台

生产厂家

Jelight

型号

144AX-220

制造国家

美国

分类号

放置地点

新校区微纳加工与器件制造平台封测区

出厂日期

1970/01/01

购置日期

2022/04/04

入网日期

2025/01/01

主要规格及技术指标

1）基片尺寸：12英寸及以下
2）360°自由放置样品；
3）距离灯泡3-5mm处，能量密度28~32mW/cm2@253.7nm；
4）高度调节范围：6-76mm

主要功能及特色

1）基片尺寸：12英寸及以下
2）360°自由放置样品；
3）距离灯泡3-5mm处，能量密度28~32mW/cm2@253.7nm；
4）高度调节范围：6-76mm

主要附件及配置

低压汞灯作为臭氧生成器来源。

公告名称	公告内容	发布日期