主要规格及技术指标

电子枪
分辨率： 0.9 nm@15 KV 1.5 nm@1 KV
放大倍数：2 x ~ 2,000,000 x（屏幕放大倍数）
离子枪
离子源：Ga
分辨率: ≤2.5nm@30kv
放大倍数：50 x ~ 300,000 x
谱峰分辨率：<132.0 ev （Kv:25 AMPT:51.2us Al-Cu）
能谱仪（EDS）
能量分辨率：Mn Ka在130000cps下优于127eV；F Ka在130000cps下优于64eV；C Ka于130000cps下优于56eV
元素分析范围: Be4 ～ Cf98；
电子背散射衍射附件（EBSD）
EBSD线解析标定速度不低于5700pps，全分辨率1244×1024
花样采集标定时速度不低于240pps
EBSD面分布图分辨率不低于4096×4096

主要功能及特色

主要功能
（1）二次电子图像和背散射电子图像观察；
（2）除氢、氦、锂以外的所有元素能谱的定性和半定量分析；
（3）能谱线扫描、面扫描元素成分分析；
（4）EBSD材料结构取向分析；
（5）样品微区切割
应用领域
（1）金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析；
（2）各种材料微区化学成分的定性和定量检测；
（3）机械零部件的失效分析；
（4）粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定；
（5）复合材料界面特性的研究；
（6）微区加工，透射样品制备

主要附件及配置

能谱系统（EDS）：Oxford Ultim Max 65
电子背散射衍射系统（EBSD）：Oxford Symmetry S3