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电子束蒸发仪

电子束蒸发仪

仪器编号

2025002931

规格

电压：380V/坩埚位置6个/真空系统的极限真空压强≤5X10-8Torr

生产厂家

Kurt J Lesker Company

型号

科特莱思科/PRo line PVD75

制造国家

美国

分类号

03060301

放置地点

新校区-工业训练中心-微纳加工与器件制造平台镀膜区

出厂日期

2021/12/21

购置日期

2021/04/07

入网日期

2025/02/25

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期