激光可调范围900~2000cm-1红外光源线宽平均4cm-1最小样品厚度>50nmXY方向扫描范围80x80umZ方向扫描范围>7um空间分辨率20~100nm点光谱测量时间约1分钟标准成像模式接触模式
纳米机械性能成像,IR吸收成像,热分析成像,振动力学成像
无