离子枪: 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体 减薄角度 +10° 到 -10°,每个离子枪均独立可调节 离子束能量 100eV 到6.0 KeV 离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束 离子束尺寸 通过气体控制调整 旋转速率 1rpm - 6rpm
用于制备透射电镜用薄区,适用于金属,陶瓷以及生物材料
Gatan离子减薄仪/超声切割仪/精密度凹坑仪