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双束显微镜系统

双束显微镜系统

仪器编号

1609849S

规格

电子束,离子束,STEM

生产厂家

捷克FEI公司

型号

Helios Nanolab G3 UC

制造国家

捷克

分类号

03040702

放置地点

粉冶院国重101房101

出厂日期

2016/06/13

购置日期

2016/06/13

入网日期

2016/06/30

主要规格及技术指标

电子束分辨率：0.6nm@2kV；0.7nm@1kV；1.0nm@500V。
离子束分辨率：4.0nm@30kV。
STEM分辨率：0.6nm@30kV。

主要功能及特色

样品微观形貌观测、离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、高质量定点TEM样品制备、样品微区成分分析、及晶粒取向分布的测定。

主要附件及配置

能谱附件提供样品成分分析。
背散射衍射系统测定样品晶粒取向分布。

公告名称	公告内容	发布日期