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四源金属蒸镀腔-手套箱系统

四源金属蒸镀腔-手套箱系统

仪器编号

1620164S

规格

极限真空≤5*10-5Pa

生产厂家

沈阳鑫恒源电子设备经销处

型号

非标

制造国家

中国

分类号

03211205

放置地点

南校区超微研究所102102

出厂日期

2016/07/08

购置日期

2016/07/08

入网日期

2016/11/29

主要规格及技术指标

l.1、极限真空(空载 ):≤5×10^-5Pa
1.2、工作真空:≤5×10^-4Pa(充入干燥纯氮气条件下 ,分子泵正常工作30分钟内达到)
1.3、真空室体结构:于前、后两面均设置大口径型活动密封门。使之具备和手套箱贯通,也可独立密封实施薄膜沉积的双重结构条件

主要功能及特色

主要包括手套箱系统和热蒸发镀膜系统，主要沉积金属薄膜，两个系统可以独立使用，也可以联合使用

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期