主要规格及技术指标

Accuracy Typical (Guaranteed) ：±0.5 (±0.75) µm
Bi-directional Repeatability Typical (Guaranteed) ：±0.030 (±0.040) µm
Minimum Incremental Motion ：0.001 µm
Resolution： 0.001 µm
Travel Range ：160 mm
Maximum Speed： 300 mm/s

主要功能及特色

高精度地进行加工工件的定位与运动。

主要附件及配置

无