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等离子体原子层沉积系统

等离子体原子层沉积系统

仪器编号

1618953S

规格

真空漏率5*10^-7Pa.L/S；速度不小于45立方米/h

生产厂家

嘉兴科民电子设备技术有限公司

型号

PEALD-100A

制造国家

中国

分类号

03061893

放置地点

米塔尔114114

出厂日期

2015/12/17

购置日期

2015/12/17

入网日期

2016/09/29

主要规格及技术指标

基片加热温度室温~400℃
前驱体管路温度室温～200℃
源瓶加热温度室温～200℃
本底真空 <5x10-3Torr
载气系统 N2或者Ar
控制系统 PLC+触摸屏或者显示器
电源 50-60Hz，220V/20A交流电源
设备尺寸 600mm x 600mm x 1100mm

主要功能及特色

用于沉积薄膜。

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期