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光纤波导精密耦合对准系统

光纤波导精密耦合对准系统

仪器编号

1102496S

规格

*

生产厂家

日本骏河精机株式会社

型号

ES6230

制造国家

日本

分类号

03040824

放置地点

机电大楼C102机电楼C102

出厂日期

2011/05/17

购置日期

2011/05/17

入网日期

2011/05/26

主要规格及技术指标

线重复定位精度0.3微米，角重复定位精度0.2度

主要功能及特色

光纤与光波导芯片对准与耦合

主要附件及配置

左右6轴自动平台，软件1套，工控机1台

公告名称	公告内容	发布日期