折射率精度: ±0.0005;折射率分辨率: ±0.0003;厚度精度: ±(0.5%+50Å) 厚度分辨率:±0.3%;折射率测量范围: 1.0-2.45;操作波长: 632.8nm
折射率膜厚同时测量
无