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离子减薄系统

离子减薄系统

仪器编号

S0903818

规格

Gatan691

生产厂家

美国 Gatan公司

型号

Gatan691

制造国家

美国

分类号

03061840

放置地点

国家重点实验306

出厂日期

2009/07/01

购置日期

2009/07/01

入网日期

2017/05/26

主要规格及技术指标

1．离子枪束能量：1.5千伏～6千伏
2．束直径：350μm FWHM at 5kev
3．离子束电流密度：10mA
4．减薄速度：硅，每小时40μm，5kv
5．样品旋转：无极可变，每分钟1～6转
6．离子束调制：单一或双面横截面减薄
7．真空度：5E～6Torr基本压强，工作时8E～5Torr base
8．凹坑仪定位精度：小于10nm
9．减薄厚度控制：1μm

主要功能及特色

减薄速度：硅，每小时40μm，5kv

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期