1.分辩率: MnKa峰的半高宽优于127eV(20000CPS)。C ka峰半高宽优于56eV(20000CPS)。F ka峰半高宽优于65eV(20000CPS)。2.元素测试:采用实际样品测试,Be4–U92 3.定量准确度:选择有代表性的典型样品或标样实测,分析误差符合国标GB/T17359-1998的要求。
用于对材料微区成分元素种类与含量进行分析,配合扫描电子显微镜使用。能谱仪适于快速分析。
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