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磁控溅射多功能涂层设备

磁控溅射多功能涂层设备

仪器编号

S0300549

规格

*

生产厂家

中科院沈阳科仪研制中心

型号

CSU550-1

制造国家

中国

分类号

03060302

放置地点

103

出厂日期

2003/01/01

购置日期

2003/12/01

入网日期

2003/12/12

主要规格及技术指标

Pmin≤10-3Pa

主要功能及特色

PVD、CVD、化学气相沉积、物理气相沉积。

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期